Определение потенциала взаимодействия ион–твердое тело из эксперимента и его влияние на профили имплантированных частиц

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

На основе анализа угловых распределений частиц, прошедших сквозь тонкие пленки золота, получены параметры потенциала, наилучшим образом описывающего эксперимент. Полученный потенциал отличается от потенциала, описывающего столкновения в газовой фазе заметным изменением константы экранирования. Проанализировано влияние энергии соударения, выбора потенциала и модели электронных тормозных потерь на распределение по глубине имплантированных частиц.

Об авторах

А. Н. Зиновьев

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: zinoviev@inprof.ioffe.ru
Россия, Санкт-Петербург

П. Ю. Бабенко

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН

Email: zinoviev@inprof.ioffe.ru
Россия, Санкт-Петербург

В. С. Михайлов

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН

Email: zinoviev@inprof.ioffe.ru
Россия, Санкт-Петербург

Д. С. Тенсин

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН

Email: zinoviev@inprof.ioffe.ru
Россия, Санкт-Петербург

Список литературы

  1. Moliere G. // Z. Naturforsch. A 1947. V. 2. P. 133. https://doi.org./10.1515/zna-1947-0302
  2. Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Solids, the Stopping and Range of Ions in Matter, V. 1. New York: Pergamon, 1985, 321p.
  3. Lenz W. // Z. Phys. 1932. V. 77. P. 713. https://doi.org./10.1007/BF01342150
  4. Jensen H. // Z. Phys. 1932. V. 77. P. 722. https://doi.org./10.1007/BF01342151
  5. Wilson W.D., Haggmark L.G., Biersack J.P. // Phys. Rev. B 1977. V. 15. P. 2458. https://doi.org./10.1103/PhysRevB.15.2458
  6. Zinoviev A.N. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2011. V. 269. P. 829. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2010.11.074
  7. Zinoviev A.N., Nordlund K. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2017. V. 406. P. 511. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2017.03.047
  8. Meluzova D.S., Babenko P.Yu., Shergin A.P., Nordlund K., Zinoviev A.N. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2019. V. 460. P. 4. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2019.03.037
  9. Zinoviev A.N., Babenko P.Yu., Nordlund K. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2021. V. 508. P. 10. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2021.10.001
  10. Agrawal A., Mishra R., Ward L., Flores K.M., Windl W. // Modelling Simul. Mater. Sci. Eng. 2013. V. 21. P. 085001. https://doi.org./10.1088/0965-0393/21/8/085001
  11. Bjorkas C., Juslin N., Timko H., Vortler K., Nordlund K., Henriksson K., Erhart P. // J. Phys.: Condens. Matter 2009. V. 21. P. 445002. https://doi.org./10.1088/0953-8984/21/44/445002
  12. Marinica M-C., Ventelon L., Gilbert M.R., Proville L., Dudarev S.L., Marian J., Bencteux G., Willaime F. // J. Phys.: Condens. Matter 2013. V. 25. P. 395502. https://doi.org./10.1088/0953-8984/25/39/395502
  13. Bruckner B., Strapko T., Sortica M.A., Bauer P., Primetzhofer D. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2020. V. 470. P. 21. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2020.02.018
  14. Бабенко П.Ю., Мелузова Д.С., Солоницына А.П., Шергин А.П., Зиновьев А.Н. // ЖЭТФ 2019. Т. 155. С. 612. https://doi.org./10.1134/S0044451019040047
  15. Бабенко П.Ю., Зиновьев А.Н., Тенсин Д.С. // ЖТФ. 2022. Т. 92. С. 1643. https://doi.org./10.21883/JTF.2022.11.53436.151-22
  16. 3. NDS – Database. https://www-nds.iaea.org
  17. Blume R., Eckstein W., Verbeek H. // Nucl. Instr. Meth. 1980. V. 168. P. 57. https://doi.org./10.1016/0029-554X(80)91231-8
  18. Morita K., Akimune H., Suita T. // J. Phys. Soc. Japan 1968. V. 25. P. 1525. https://doi.org./10.1143/JPSJ.25.1525
  19. Archubi C.D., Eckardt J.C., Lantschner G.H., Arista N.R. // Phys. Rev. A 2006. V. 73. P. 042901. https://doi.org./10.1103/PhysRevA.73.042901
  20. Valdes J.E., Martínez-Tamayo G., Lantschner G.H., Eckardt J.C., Arista N.R. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 1993. V. 73. P. 313. https://doi.org./10.1016/0168-583X(93)95744-P
  21. Markin S.N., Primetzhofer D., Prusa S., Brunmayr M., Kowarik G., Aumayr F., Bauer P. // Phys. Rev. B 2008. V. 78. P. 195122. https://doi.org./10.1103/PhysRevB.78.195122
  22. Fama M., Lantschner G.H., Eckardt J.C., Denton C.D., Arista N.R. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 2000. V. 164-165. P. 241. https://doi.org./10.1016/S0168-583X(99)01086-1
  23. Andersen H.H., Csete A., Ichioka T., Knudsen H., Moller S.P., Uggerhoj U.I. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 2002. V. 194. P. 217. https://doi.org./10.1016/S0168-583X(02)00692-4
  24. Зиновьев А.Н., Бабенко П.Ю. // ПЖЭТФ 2022. Т. 115. С. 603. https://doi.org./10.31857/S1234567822090105
  25. SRIM — The Stopping and Range of Ions in Matter — code. http://srim.org.
  26. Мелузова Д.С., Бабенко П.Ю., Шергин А.П., Зиновьев А.Н. // Поверхность 2019. В. 4. С. 74. https://doi.org./10.1134/S0207352819040127
  27. Бабенко П.Ю., Зиновьев А.Н., Михайлов В.С., Тенсин Д.С., Шергин А.П. // ПЖТФ. 2022. Т. 48. С. 10. https://doi.org./10.21883/PJTF.2022.14.52862.19231
  28. Firsov O.B. // Sov. Phys. JETP 1958. V. 7. P. 308.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2024