Перспективы применения жидкого стекла для сглаживания поверхности оптических элементов

Предлагается использовать “жидкие стекла” различных составов в качестве подложек для рентгенооптических элементов космического базирования. Одним из основных требований, предъявляемых к таким материалам, является наименьшая масса и возможность обработки поверхности. Особые требования предъявляют к шероховатости поверхности, которая должна быть менее 1 нм, а точность формы – на уровне единиц нанометров. В качестве материала, позволяющего сформировать необходимую форму и шероховатость поверхности, а также обеспечить последующую обработку, было предложено использовать класс соединений на основе силикатов щелочных металлов или сильных органических оснований. Исследован эффект сглаживания шероховатости поверхности жидкого стекла трех различных составов, нанесенного на пленки хрома и никеля. До и после нанесения структур шероховатость всех поверхностей измеряли в атомно-силовом микроскопе. Шероховатость рассчитывали с помощью функции спектральной плотности мощности (PSD-функции). Нанесенные на поверхность структуры подвергались облучению ускоренными ионами аргона с энергией 800 эВ. Были измерены глубина травления и эффективная шероховатость. Один из исследуемых составов показал удовлетворительное снижение шероховатости и стойкость этого эффекта при ионном травлении.