On the Shift of the Maximum of the Polar Angular Distribution of Sputtered Atoms in the MD Model of the (001) Ni Face Sputtering
- Autores: Musin A.I.1,2, Samoilov V.N.3
-
Afiliações:
- State University of Education
- STANKIN Moscow State University of Technology
- Lomonosov Moscow State University
- Edição: Nº 6 (2024)
- Páginas: 31-37
- Seção: Articles
- URL: https://archivog.com/1028-0960/article/view/664805
- DOI: https://doi.org/10.31857/S1028096024060048
- EDN: https://elibrary.ru/DVQXZF
- ID: 664805
Citar
Resumo
Using an up-to-date full molecular dynamics model of sputtering of single crystals, taking into account the incidence of ions on the surface, the peculiarities and mechanisms of atom sputtering during bombardment of the (001) Ni face with 200 eV Ar ions are studied for two target temperatures. It is shown for the first time that with an increase in the energy of sputtered atoms, not only the maximum of their polar angular distribution in the azimuthal direction toward the Wehner spots, but also the maximum of the polar angular distribution integrated over the azimuthal angles shifts first toward the normal to the surface, and then in the opposite direction. The polar distribution integrated over the azimuthal angle is formed by atoms ejecting from the surface at much larger polar angles than in the final (observed) distribution. Both effects are explained in terms of the surface mechanism of single crystal sputtering.
Sobre autores
A. Musin
State University of Education; STANKIN Moscow State University of Technology
Email: samoilov@polly.phys.msu.ru
Rússia, Mytishchi; Moscow
V. Samoilov
Lomonosov Moscow State University
Autor responsável pela correspondência
Email: samoilov@polly.phys.msu.ru
Rússia, Moscow
Bibliografia
- Андрианова Н.Н., Борисов А.М., Машкова Е.С., Овчинников М.А., Суминов И.В. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2023. № 4. С. 10. https://doi.org/10.31857/S1028096023040027
- Мелузова Д.С., Бабенко П.Ю., Зиновьев А.Н., Шергин А.П. // Журнал технической физики. 2021. Т. 91. Вып. 12. С. 2038. https://doi.org/10.21883/JTF.2021.12.51770.204-21
- Юрасова В.Е., Еловиков С.С., Зыкова Е.Ю. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2007. № 6. С. 38.
- Еловиков С.С., Зыкова Е.Ю., Мосунов А.С., Юрасова В.Е., Рыжов Ю.А., Шкарбан И.И. // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Термояд. синтез. 2007. № 2. С. 26.
- Еловиков С.С., Зыкова Е.Ю., Юрасова В.Е. // Изв. РАН. Серия физ. 2010. Т. 74. № 2. С. 147.
- Иешкин А.Е., Завильгельский А.Д., Беляев М.Е., Назаров А.В. // Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. и астр. 2022. № 4. С. 30.
- Назаров А.В., Завильгельский А.Д. // Прикладная физика. 2019. № 5. С. 60.
- Широкорад Д.В., Корнич Г.В., Буга С.Г. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2017. № 6. С. 71. https://doi.org/10.7868/80207352817060178
- Широкорад Д.В., Корнич Г.В., Буга С.Г. // Физика твердого тела. 2017. Т. 59. Вып. 1. С. 189.
- Толмачев А.И., Форлано Л. // Журнал технической физики. 2018. Т. 88. Вып. 10. С. 1502. https://doi.org/10.21883/JTF.2018.10.46492.2611
- Бачурин В.И., Никитин А.М., Самойлов В.Н., Татур А.Э., Ястржембский В.И. // Изв. РАН. Сер. физ. 1994. Т. 58. № 3. С. 102.
- Самойлов В.Н., Корсакова О.С., Татур А.Э. // Изв. РАН. Сер. физ. 1996. Т. 60. № 7. С. 100.
- Samoilov V.N., Tatur A.E., Yastrzhembsky V.I. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1996. V. 118. № 1–4. Р. 509. https://doi.org/10.1016/0168-583X(95)01479-9
- Samoilov V.N., Korsakova O.S., Tatur A.E. // Vacuum. 1996. V. 47. № 12. P. 1443. https://doi.org/10.1016/S0042-207X(96)00209-6
- Korsakova O.S., Samoilov V.N., Dekhtyar K.V., Gurko I.B. // Proc. 7th Eur. Conf. on Applications of Surface and Interface Analysis, Göteborg, Sweden: Wiley and Sons Publ., 1997. P. 860.
- Samoilov V.N., Tatur A.E., Yastrzhembsky V.I. // Radiat. Eff. Defects Solids. 1997. V. 142. № 1–4. P. 323. https://doi.org/10.1080/10420159708211617
- Самойлов В.Н., Ананьева Н.Г. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2019. № 8. С. 106. https://doi.org/10.1134/S0207352819080146
- Wehner G.K. // J. Appl. Phys. 1955. V. 26. № 8. P. 1056. https://doi.org/10.1063/1.1722136
- Юрасова В.Е., Плешивцев Н.В., Орфанов И.В. // ЖЭТФ. 1959. Т. 37. Вып. 4. С. 966.
- Rübesame D., Niedrig H. // Radiat. Eff. Def. Solids. 1996. V. 138. № 1–2. P. 49. https://doi.org/10.1080/10420159608211508
- Van Veen A. Sputtering and Scattering by Interaction of Low Energy Noble Gas Ions with Monocrystalline Metal Surfaces. Ph. D. Thesis. Univ. Utrecht, Utrecht, the Netherlands. 1979.
- Samoilov V.N., Tatur A.E., Kovaleva N.A., Kozhanov A.E. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1999. V. 153. № 1–4. P. 319. https://doi.org/10.1016/S0168-583X(99)00216-5
- Самойлов В.Н., Мусин А.И. // Изв. РАН. Сер. физ. 2018. Т. 82. № 2. С. 171. https://doi.org/10.7868/S0367676518020084
- Самойлов В.Н., Мусин А.И., Ананьева Н.Г. // Изв. РАН. Сер. физ. 2016. Т. 80. № 2. С. 122. https://doi.org/10.7868/S0367676516020289
- Kornich G.V., Betz G. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1998. V. 143. № 4. P. 455. https://doi.org/10.1016/S0168-583X(98)00410-8
- Kornich G.V., Betz G., Bazhin A.I. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1999. V. 153. № 1–4. P. 383. https://doi.org/10.1016/S0168-583X(99)00218-9
- Berendsen H.J.C., Postma J.P.M., van Gunsteren W.F., DiNola A., Haak J.R. // J. Chem. Phys. 1984. V. 81. № 8. P. 3684. https://doi.org/10.1063/1.448118
- Karetta F., Urbassek H.M. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. № 11. P. 5410. https://doi.org/10.1063/1.350563
- Ackland G.J., Tichy G., Vitek V., Finnis M.W. // Phil. Mag. A. 1987. V. 56. № 6. P. 735. https://doi.org/10.1080/01418618708204485
- Gao F., Bacon D.J., Ackland G.J. // Phil. Mag. A. 1993. V. 67. № 2. P. 275. https://doi.org/10.1080/01418619308207158
- Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. // Charge States and Dynamic Screening of Swift Ions in Solids. Proc. of the U.S.-Japan Seminar on Charged-Particle Penetration Phenomena, 25–29 January 1982, Honolulu, Hawaii, U.S.A. The Oak Ridge National Laboratory Publ., Oak Ridge, Tennessee, U.S.A. 1983. P. 88.
- Gao F., Bacon D.J. // Phil. Mag. A. 1993. V. 67. № 2. P. 289. https://doi.org/10.1080/01418619308207159
- Bacon D.J., Deng H.F., Gao F. // J. Nucl. Mater. 1993. V. 205. P. 84. https://doi.org/10.1016/0022-3115(93)90074-9
- Weijsenfeld C.H. Yield, Energy and Angular Distribution of Sputtered Atoms. Ph. D. Thesis. Univ. Utrecht, Utrecht, the Netherlands. 1966.
- Silsbee R.H. // J. Appl. Phys. 1957. V. 28. № 11. P. 1246. https://doi.org/10.1063/1.1722626
- Samoilov V.N., Korsakova O.S., Rodionova E.L., Nikitin A.M., Bachurin V.I. // Ion Beam Modification of Materials / Eds. Williams J.S. et al. Amsterdam: Elsevier, 1996. P. 710.
- Корсакова О.С., Алешкевич В.А., Самойлов В.Н., Никитин А.М. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 1997. № 2. С. 77.
- Воеводин Вл.В., Жуматий С.А., Соболев С.И., Антонов А.С., Брызгалов П.А., Никитенко Д.А., Стефанов К.С., Воеводин Вад.В. // Открытые системы. СУБД. 2012. № 7. С. 36.
- Sadovnichy V., Tikhonravov A., Voevodin Vl. Opanasenko V. // Contemporary High-Performance Computing: From Petascale toward Exascale. Boca Raton: CRC Press, 2013. P. 283.
Arquivos suplementares
