Автор туралы ақпарат
Ковальчук, А. В.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 52, № 3 (2023) | TECHNOLOGIES | Hydrogen Plasma under Conditions of Electron-Cyclotron Resonance in Microelectronics Technology | |
| Том 53, № 5 (2024) | DIAGNOSTICS | Electron cyclotron resonance plasma studies using the second cyclotron harmonic resonance |